纯水超纯水设备适用于集成电路芯片、单晶硅、显像管、液晶显示器、计算机硬盘、线路板等工艺所需的纯水和超纯水制备。在严格执行ISO-9001质量体系标准的前提下,采用世界上先进的反渗透膜元件。压力容器和高压泵、配以合理而又高效的前处理设备及后处理设备,使产品出水符合各类工业生产标准的超纯水。
控制系统选用PLC程序控制,可实现自动起停、冲洗,自动监测各种运行参数,并可实现运行参数的储存及打印广泛适用于:半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路LCD、EL、PDP、TFT、玻壳、显像管超纯材料。
纯水超纯水设备工艺流程:
1.预处理系统-反渗透系统-中间水箱-纯水泵-粗混合床-精混合床-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥15MΩ.CM)(传统工艺)
2.预处理系统-反渗透系统-中间水箱-粗混合床-精混合床-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)(传统工艺)
3.预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)
4.预处理-一级反渗透-加机(PH调节)-中间水箱-二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯水箱-纯水泵-EDI装置-紫外线杀菌器-精密过滤器(0.2或0.5μm)-用水对象(≥17MΩ.CM)
5.预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(≥15MΩ.CM)
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